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大家常说的动态配气系统就是全自动的气体稀释装置,除开这些还有混气仪、配气柜、动态配气仪、气体浓度调节仪等等都是采用的同一生产原理进行的生产,只是称呼不同而已。
采用质量流量计原理的配气仪主要利用程序编程器控制质量流量计的流量,从而实现不同气体的配比,主要特点是配气精度高(小于0.5%),对于不同种类的气体,需要采用不同的配气仪,一般只能配置设定出厂设定浓度范围内的气体,如有其他气体需要配比,需在出厂前进行沟通和确认。还有一种是比例阀门原理的配气仪优点是气体适用范围比较广,操作比较简单,价格相对较低。常规气体,无需经过特殊设置或換算,就可以直接使用。对于气体种类和所要配比的浓度,在仪器出厂前不需要调教。但是,只能用于将两种气体进行配比;配比精度低(大于1%)。
这类型的产品主要是利用动态配气法,将已知浓度的原料气,以较小的流量,恒定不变地送入气体混合室中,再通过混合室,同时将净化过的洁净气体以较大的流量恒定不变地与原料气混合稀释。稀释后的混合气连续不断地从混合室流出供使用。准确计量原料气流和稀释气流之比可得稀释倍数。混合气的浓度可简单地从稀释倍数计算出来,调节气流比可以得到所需浓度的标准气体。